【摘 要】
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随着器件特征尺寸进入5 nm及以下技术节点,SiGe高迁移率沟道FinFET或GAA三维器件成为了研究热点。总结了适用于三维器件的SiGe高迁移率沟道导入集成、钝化及低阻接触技术的挑战及潜在解决方案。对于FinFET器件,STI last沟道导入方案更利于获得高质量的SiGe沟道导入集成。而对于GAA器件,通过优化牺牲层/沟道层叠层外延及湿法释放工艺可实现SiGe沟道导入集成。同时,O3钝化技术及
【机 构】
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中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心
【基金项目】
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国家自然科学基金面上项目（62074160）； 北京市自然科学基金面上项目（4202078）资助；
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随着器件特征尺寸进入5 nm及以下技术节点,SiGe高迁移率沟道FinFET或GAA三维器件成为了研究热点。总结了适用于三维器件的SiGe高迁移率沟道导入集成、钝化及低阻接触技术的挑战及潜在解决方案。对于FinFET器件,STI last沟道导入方案更利于获得高质量的SiGe沟道导入集成。而对于GAA器件,通过优化牺牲层/沟道层叠层外延及湿法释放工艺可实现SiGe沟道导入集成。同时,O3钝化技术及与高阶前驱体源漏选择性外延相结合的Ga/B共掺杂技术成为了最有潜力的钝化和低阻接触技术。
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