纳米测量相关论文
机械测试理论与技术是获取机械物理信息的主要途径，是推动工业生产和制造技术进步的“倍增器”。随着我国从“资本密集型、劳动密集......
在线测量检测技术与装备是保证集成电路（IC）制造质量和良率的唯一有效技术手段，在IC制造过程中必须对IC纳米结构的关键尺寸、套刻误差......
将光外差纳米技术引入去纹干涉法，大大提高了位移测量和应变测量的灵敏度（纳米量级和微应变量级）为细观力学实验研究提供了一个有效途......
为了提高单频激光干涉测振系统的测量精度，提出了一种基于伪极值的非线性误差实时主动补偿方法，该方法使用伪极值计算直流偏置误差和......
拍频干涉法可用于纳米、亚纳米级精度的位移测量，其测量不确定度主要取决于单位频差─—位移当量的非线性。本文对影响非线性的因素......
最新实验结果证明:美国国家标准与技术研究院(NIST)几年前研发的技术可以使光学显微镜以纳米级的分辨力测量物体三维形状,远低于光......
Ｘ 射线干涉纳米测量系统要求分析器的俯仰角为１０－ ８ｒａｄ量级，侧滑角为１０－ ６ｒａｄ量级，为此设计了对称式高精度微动工作台，并利用有限元分析软件对设计的......
纳米测量仪器（１５３１０６）黑龙江省森工管理干部学院董琦，李满昌（１５３１０６）黑龙江省带岭林业实验局王淑范目前，随着高新科技的飞速发展，对测量技术提出了愈来......
在激光强回馈系统中,提出了一种基于改变激光腔镜应力控制激光偏振的新方法。通过外部加力装置调节激光腔镜的应力大小,可以改变回......
21世纪，随着纳米技术的飞速发展，具备纳米测量与操作功能的原子力显微镜(AFM)，得到了国内外自动控制领域很多专家、学者的关注。本文......
提出了一种新型半导体激光正弦相位调制干涉仪。使用此干涉仪测量了物体的微小振动。利用光热效应调制光源波长降低了光源光强变化......
在使用高倍物镜测量纳米标准样板时,获得高分辨率的样板整体区域的信息是十分重要的。针对高倍物镜下视场区域小的问题,本文提出了......
对目前新出现的几种高精度微变位致动器的性能特点进行了分析，介绍了它们在高新技术领域，特别是在微纳技术领域中的应用。
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给出一种可用于纳米精度测量的二次混频测相技术，着重设计了其中的频率合成器．采用MAX038组成频率跟踪振荡源，理论分析和实验结果表明......
提出一种可同时测量膜厚和折射率的新型快速高灵敏度薄膜测量方法——外差椭偏纳米薄膜测量技术，并给出了理论分析与设计、实验结果......
分析了亚纳米测量外差干涉仪光源的选择和建立。由于Ｈｅ－Ｎｅ激光器在一定的横向磁场下产生横向塞曼效应，直接输出一对正交线偏振光，且其拍频......
本文报导国际上研制的第一台在纳米测量中，在中等测量范围内，具有微型光纤传导激光干涉三维测量系统、可自校准和进行绝对测量的计量......
介绍了确定纳米精度双频激光干涉仪非线性误差的两种方法：纳米比对方法和幅值估算方法，前者通过将双频激光干涉仪和计量院纳米精度F-......
利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了高精度的台阶高度评价,该系统的测量范围可以达到25 mm×25 mm×5 mm。文中描述了N......
纳米科学与技术是纳米体系物理、纳米材料、纳米化学、纳米电子学和纳米机械学以及纳米加工技术和纳米测量学结合起来的新领域。在......
研究了用于纳米测量的激光干涉仪中光学波片对非线性误差的影响,基于琼斯矩阵理论建立了多波片的误差分析模型,分析了λ/2和λ/4波......
针对传统白光扫描干涉术在对一些垂直尺度较大器件的测试中，存在测量时间长、信号利用率低等问题，本文提出了应用于白光扫描干涉测量......
研究了一种长基线激光干涉仪的在线稳定性监测技术,可用于纳米量级的位移和振动测量。构建了一个臂长22m的激光干涉仪用于位移和振......
纳米科技是当今科技发展的重要前沿,其快速发展对纳米测量技术提出了新的挑战,也提供了新的发展机遇。纳米标准物质在复杂多变的测......
本文介绍了在多自由度纳米定位中,作为表面编码器测量基准的正弦波栅格的复制方法.该栅格表面的形貌为空间正弦波,即沿x和y方向均......
介绍在北京同步辐射装置上进行的国内首次ＬＬＬ型Ｘ射线干涉实验研究，在Ｘ光底片上观察到了Ｍｏｉｒｅ干涉条纹，为进一步利用Ｘ射线干涉技术实现纳米测量打......
介绍了一种用于在线检测纳米定位平台的全自动六维纳米测量系统。提出了整波长干涉测量方法,可以避免激光干涉仪的非线性影响,使系......
该文研究了一台具有中等测量范围，并加装了由三台微型激光干涉仪组成的三维测量系统的计量型原子力显微镜的扫描器校准，提出了单参数......
本文首次提出了光栅纳米测量中莫尔条纹信号的参数连续性概念和一种以之为依据的新的实时动态误差修正方法,并进行了实验验证.它根......
该文介绍了用于大范围纳米测量的差拍法－珀干涉仪的原理及其特性，包括分辨率、测量范围、非线性误差以及总的测量不确定度。利用该干......
纳米测量学（nano－measurements）纳米＞（NANOST）是SO年代末发展起来的新科技，它将成为对世纪信息革命的核心。所谓纳米科技是指在10－9－10－7m范......
本文提出了一种利用合成波长法实现的纳米测量方案.在文中分析了多波长干涉术用于小尺寸测量的基本原理,提出了共光路的设计结构.......
法-珀干涉仪有较高的分辨率,但是由于受到激光器模间隔的限制,测量范围较小.介绍了使用换模锁定法对其进行扩展,实现了具有较大测......
结合原子力显微镜技术提出了一种新型纳米云纹方法,并应用该方法进行纳米范围的变形.实验中选用原子力显微镜显示屏的扫描线做为参......
设计了一套干涉条纹图像实时采集处理系统.在分析迈克尔逊干涉条纹特征表象的基础上,给出了通过跟踪干涉条纹的移动量测量被测对象......
为了研究可用于纳米、亚纳米精度的非线性误差校准系统,采用差拍F-P干涉法,在中国计量科学研究院研制的差拍F-P干涉仪基础上,设计......
介绍了近年来发展的纳米云纹法及其新的应用.这些方法是基于原子力显微镜、扫描隧道显微镜和透射电子显微镜的原理提出来的.纳米云......
本论文在分析各种纳米干涉仪的基础上，重点探讨了目前常用的双频激光外差干涉仪。 本文首先分析、研究了现有各种外差干涉仪......
该文以国家自然科学基金项目：以双法布里-珀罗纳米动态测量干涉系统为依托,用多学科前沿交叉理论及有关数学、光学、系统论及数字图......
学位
本文首先研究了原子力显微镜的工作原理、成像过程、仪器结构和工作模式。并对探针的膨胀作用、扫描图像的滤波去噪等测量时存......
超高精密机械零件的表面微观形貌不仅直接影响着零件的使用性能,而且还影响着产品的质量、可靠性及寿命。精确可靠地测量超精密表......
本文对纳米工作台运动控制技术进行了研究。主要内容包括： 1.对宏动系统进行研究，主要研究基于PMAC控制器的控制算法在精密定位系......
