根据脊形光波导的基本设计要求，分析了锗硅合金脊形波导的结构参数对其光传播特性的影响，并优化设计了结构参数，其合理性得到了实验验......

通过分析和计算，得到了单模ＧｅｘＳｉ１－ｘ脊形光波导内脊高、脊宽和腐蚀满足的关系。实践证明，按照这些关系可以成功设计制作 单模ＧｅｘＳｉ１－ｘ脊形光波导。......

对脊形单模硅光波导的模式特性进行了理论设计。分析了λ＝１．３μｍ的脊形硅光波导的结构参数及工艺流程。这种光波导的数值孔径和单模光纤......