微加工工艺相关论文
心血管疾病是影响人类健康的重大疾病之一,其具有发病快、死亡率高的特点。红细胞分布宽度(Red Blood Cell Distribution Width,RDW......
MEMS惯性开关是一种无源电子器件,集传感器与执行器为一体,具有尺寸小、制造成本低、可批量生产等多种优点,在玩具、汽车电子、物......
当前,超疏液材料的主要制备方法包括随机和规则的倒悬微纳米结构制备及低表面能处理。前者一般是化学处理,成本较低但性能难以控制;......
微机电系统中残余应力会导致结构弯曲、下塌或断裂,这些会影响和限制结构的尺寸,降低结构的使用寿命,甚至导致器件的失效.因此,残......
增材制造(3D打印)用新一代高性能工程塑料制备和加工的关键问题研究,符合第三次工业变革战略发展方向、中国工业2025、世界工业化......
本次报告将要介绍的飞秒激光在微加工中的应用,可以说即用到了飞秒激光的快,又用到了飞秒激光的强,且在不同的情况下侧重点有所不......
NanoSciences公司(位于美国康涅狄格州的Oxford)的研究人员,成功地开发了一种核心微加工工艺技术。可以在半导体材料上加工出深宽......
一、国内线切割加工概况近几年来,国内电火花线切割加工发展较快,生产厂家及机床型号、数量已不少。以复旦型控制线路为多,以冲模......
非制冷红外焦平面阵列的微桥结构在微加工工艺中,由于温度的剧烈变化,在薄膜中产生热应力而引起微桥的变形,将对器件产生不利影响......
本文设计并制作了一种用于Ka波段分布式MEMS传输线(DMTL)移相器的MEMS电容式并联开关.通过理论计算和工程经验,大致定义了开关的结......
垂直通孔引线是圆片级封装方法的关键技术之一。针对玻璃衬底垂直通孔引线技术,本文就通孔引线寄生电容开展了研究。首先,利用Anso......
本文对数控电火花精微加工间隙特性和伺服特性进行了初步研究,介绍了一种测量间隙和振动的方法,讨论了机床主轴头振动对精微加工的......
由于微加工工艺以及薄膜应变式工作原理等因素,使得薄膜压力传感器普遍存在温度漂移误差、非线性误差,影响传感器全温区测量精度,......
随着人类对于量子世界认识的不断深入,许多量子力学的基本规则可以运用到人类社会的生产生活中。量子计算就是运用量子力学的基本......
人类早在几百年前,便踏上了飞行器的设计之路,而扑翼微飞行器也已在多年前成为了世界各地研究的对象。然而至今为止,人类对微飞行......
5层多晶硅表面微加工工艺可以制成更为可靠,能够完成更为复杂作业的微机电系统(MEMS)。此项首先在美国能源部所属Sandia国家实验......
硅微谐振式加速度计多采用双端固定音叉(DETF)作为谐振结构,而传统的单根振梁结构也具有其独特优势。该文通过理论分析、有限元仿......
利用碳纳米管生长技术和微加工技术,开展了微纳单元的实验方法研究,探索了“管压电极”和“电极压管”的微纳单元制备工艺。结构表......
评述生物微机电系统和生物芯片的最新进展 :能够在液体中操纵单个细胞的微型机器人和生物分子电机驱动的纳米器件代表了当前生物微......
采用具有表面结构的多层复合技术,得到了高漫反射低比辐射材料,建立了矢量模式理论,仔细研究了空间衍射场分布对三维周期性结构的......
本文给出了一种利用局域硅氧化工艺生产静电微米规模电机的新型工艺.这种电机的草图如(1)图所示,它基于五道掩膜工艺,简述如下,具......
本文设计了一种10MHz带有可动电极结构的RF MEMS方块谐振器.首先根据机械类比的方法,给出了谐振器的机械参数模型,然后建立了谐振......
以化学气相沉积方法制备的四族半导体硅(锗)纳米线具有小于数十纳米的直径,大于数微米的长度,原子层级平滑的界面,是传统的至上而......
本文描述了一种用于芯片级原子钟的铯原子泡的微加工工艺制备方法.铯原子泡的整个制备过程包括硅的微加工工艺,以及玻璃和硅的静电......
首先简述了微电子机械系统(MEMS)技术的发展,阐述了三种主要的微加工工艺并作了比较,对MEMS技术的应用前景及市场前景进行了分析.......
用硅光刻工艺和二氧化硅湿法腐蚀工艺制作了针状封装结构的光纤消逝场传感器.该结构的传感器体积小、试剂消耗量少,减轻了测量过程......
随着微电子技术的飞速发展,过去由分立元件构成的庞大系统,现在只需单片或多片的集成模块就可以完成同样的功能。微电子学已经广......
本文对1989年6月26日至30日在瑞士蒙特洛举行的第五届国际固态传感器与执行器会议进行综合介绍。重点指出该领域的技术发展:如硅微......
该文研究了一种采用微加工工艺的平面薄膜栅形电容结露敏感元件,可用于露点仪的结露控制。文中给出了元件的容值计算方法及其优化设......
选用高温超导体YBCO薄膜,利用集成微加工工艺,制成高温超导红外探测器。测得器件的等效噪声功率NEP达到10〈’12〉W.Hz〈’-1/2〉,探测率D〈’*〉为10〈’9〉cm.Hz〈......
该文研究了一种采用微加工工艺的平面薄膜栅形结露敏感电容元件,可用于露点仪的结露控制。文中给出了元件的容值计算方法及其优化设......
智能传感器搏击市场传感器是测量、控制和仪器技术中的关键部件。根据测量参数的不同,有机械参数型传感器、几何参数型传感器、热传......
微电子机械系统(MEMS)技术在未来的通信领域中有着广泛的应用前景,本文介绍了若干个用于通信线路中的MEMS器件,如微电容器、微电感器、微谐振器......
法国研究人员演示了一种用氮化硅批量制作的微机械支架,将其同时用作光学探针、波导和原子力显微镜(AFM)触头,形成直径50nm的光学......
第一期正电于湮没技术(PAT)的开发与应用(-)—一正电子湮没技术与材料的缺陷分析…··.………………………………万玉金等(1)正电......
纳米线冷阴极具有优越的场发射特性,在场发射显示器(FED)中有重要的应用,受到了研究者的广泛关注。
本博士论文首先介绍了场发......
光纤传感具有常规检测技术不可比拟的优势,代表新一代传感器的发展趋势。在光纤上加工微结构来制备新型光纤传感器成为一种有效手段......
为了检测空气中特定气体的浓度,以满足不同工业环境的要求,本文在国家重点基础研究(973计划)项目“高性能电子产品设计制造精微化......
近年来硬盘制造业高速发展,大容量、小体积、高读取速度的硬盘,是硬盘市场的发展趋势。这些体积小、结构复杂的硬盘对加工工艺提出了......
在发动机气缸中,缸套-活塞环是最核心的部件之一,它的润滑、磨损和摩擦等问题对发动机的性能有着重要的影响,既对发动机的性能和工......
以聚合物ZPU44和ZPU46作为波导包层和芯层材料,设计并制备了基于Mach-Zehnder干涉仪(MZI)的集成折射率传感器。设计并优化了波导截......