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定量相位成像技术是实现目标结构三维测量的重要手段,在生物医学工程与工业器件制造等高新技术产业领域中具有广阔的发展前景。相......
为解决时域相移小孔点衍射干涉仪中移相依赖昂贵压电陶瓷相移器，且长时间采集易受环境干扰影响的问题，提出一种基于偏振同步相移的小......
点衍射干涉测量技术是通过微米级圆孔衍射产生近乎理想的球面波作为参考面形,摆脱了实物参考镜面形对测量精度的限制,理论上检测精......
随着微光学、微机电器件工艺制造的要求不断提高,对于激光直写技术的写入精度和光刻分辨率有了很高的要求。为了提高光刻分辨率,减......
相移干涉数字全息显微技术是近年来发展起来的一种与数字技术相结合的用于微小物体显微成像的新技术。它主要利用光敏器件(如CCD、......
相移干涉术是利用调制和解调技术实现高精度相位测量的光学干涉测量技术。它通过精密仪器调制干涉场，使干涉场引入有序的空间光程差......
BEPCII在设计阶段从束流不稳定性和寄生模损失角度对阻抗提出了限制,但在BEPCII运行中寄生模损失是影响高流强稳定运行的因素之一.......
基于激光波面干涉表面形貌测量原理，提出以偏振相移为基础的同步相移技术，研究具有抗振特性的精密表面激光波面干涉测量方案，以解决精......
干涉显微(Interference microscopy)是利用光波干涉和显微放大原理对微小物体表面或厚度分布进行非接触测量的光学手段。它为半导......
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空间相移干涉术可以在同一时刻采集多幅相移干涉图,由此提取待测相位参数,从而实现动态目标的干涉测量。该方法在光学加工、天文、......
随着微电子、微机电系统(MEMS)、光电子信息技术和航空航天技术等的快速发展,对表面质量,如光学元件表面、硅晶片表面、磁盘等高精......
