扫描光栅微镜相关论文
扫描光栅微镜是微型光谱仪的新一代核心分光器件.基于固定光栅分光的微型光谱仪由于采用阵列探测器在近红外波段价格昂贵,严重制约......
近年来,随着微光机电系统(MOEMS)技术的快速发展,光谱仪朝着微型化、低成本、高性能方向发展。基于MOEMS技术制作的闪耀光栅可集成......
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MOEMS扫描光栅微镜是微型光谱仪的核心扫描分光器件,其衍射效率、分辨能力、最大扫描角度以及扫描运动的稳定性等特性决定了微型光......
