【摘 要】
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柔性压电传感器因具有高的灵敏度和良好的灵活性,被广泛地应用到物联网技术,可穿戴电子和个人医疗等领域。本文设计一种基于"螺钉"形结构的高性能柔性压电传感器,通过COMSOL有限元分析软件对这种"螺钉"形结构的柔性压电传感器进行仿真分析,在50KPa的压强下,压电传感器的输出电压为1.566V,器件灵敏度为3.1mV/KPa,与薄膜压电器件相比,"螺钉"形结构的柔性压电传感器的压电性提升19.8倍。进
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柔性压电传感器因具有高的灵敏度和良好的灵活性,被广泛地应用到物联网技术,可穿戴电子和个人医疗等领域。本文设计一种基于"螺钉"形结构的高性能柔性压电传感器,通过COMSOL有限元分析软件对这种"螺钉"形结构的柔性压电传感器进行仿真分析,在50KPa的压强下,压电传感器的输出电压为1.566V,器件灵敏度为3.1mV/KPa,与薄膜压电器件相比,"螺钉"形结构的柔性压电传感器的压电性提升19.8倍。进一步探究"螺钉"形结构的几何参数对压电输出的影响,发现螺杆半径r的大小是直接影响压电输出的重要因素。
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