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提出一种基于卷对卷矩形靶的溅射理论模型，借助Matlab模拟仿真软件，对卷绕柔性．衬底（宽度为100mm，弯曲半径为100mm，弯曲角为80°）的膜厚均匀性．进行分析．首先，在主辊静态条件下，改变靶材几何尺寸和靶基距，研究此时膜厚均匀性误差的分布情况，发现：膜厚均匀性误差随着靶材几何尺寸的变大而整体减小；随着靶基距的增大，均匀性误差的中部先增大后减小，而两边一直减小．其次，在主辊动态条件下，固定靶材几何尺寸，仅改变靶基距，研究此时膜厚均匀性误差的分布规律，发现：随着靶基距的增大，膜厚均匀性误差先