【摘 要】
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为了解决终端光学组件中的大口径透镜污染损伤问题,实现透镜表面的在线洁净,提出了一种新的污染物去除方式,利用风刀技术实现颗粒污染物的在线去除。通过有限元方法模拟了透镜表面颗粒污染物吹扫过程,研究了在层流风和风刀的共同作用下透镜模块中的流场分布状态和颗粒运动轨迹。研究结果表明:当层流风速为0.3 m/s时,透镜模块内部能够形成稳定流场;当风刀距离透镜上表面78.73 mm时,能够有效降低风刀气流在透镜表面的应力集中;当风刀风速为30 m/s时,风刀气流能够有效隔离出射速度小于50 m/s和颗粒直径小于75μm
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电工程学院,中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【基金项目】
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国家自然科学基金重点项目(No.51535003)。
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为了解决终端光学组件中的大口径透镜污染损伤问题,实现透镜表面的在线洁净,提出了一种新的污染物去除方式,利用风刀技术实现颗粒污染物的在线去除。通过有限元方法模拟了透镜表面颗粒污染物吹扫过程,研究了在层流风和风刀的共同作用下透镜模块中的流场分布状态和颗粒运动轨迹。研究结果表明:当层流风速为0.3 m/s时,透镜模块内部能够形成稳定流场;当风刀距离透镜上表面78.73 mm时,能够有效降低风刀气流在透镜表面的应力集中;当风刀风速为30 m/s时,风刀气流能够有效隔离出射速度小于50 m/s和颗粒直径小于75μm
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