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本文以ＪＥＭ－２０００ＥＭ为例，分析了电镜真空系统返油产生的原因，及其对电镜的危害。对返油现象作了电路和故障的分析，同时提出了识别方法与消除措施。
电镜中真空系统的返油与消除
【摘 要】
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本文以ＪＥＭ－２０００ＥＭ为例，分析了电镜真空系统返油产生的原因，及其对电镜的危害。对返油现象作了电路和故障的分析，同时提出了识别方法与消除措施。
【出 处】
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国外分析仪器技术与应用
【发表日期】
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1995年3期
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