【摘 要】
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Ｃ作为ＩＩ－Ｖ族半导体中常用的ｐ型掺杂剂，由于它的掺杂浓度极限高和扩散系数低，逐渐引起人们的关注，并在许多应用中显示出潜力而有望代替常规的ｐ型掺杂剂，如Ｚｎ和Ｂｅ。根据近期研究成果，对采用ＭＯＶＰＥ技术
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Ｃ作为ＩＩ－Ｖ族半导体中常用的ｐ型掺杂剂，由于它的掺杂浓度极限高和扩散系数低，逐渐引起人们的关注，并在许多应用中显示出潜力而有望代替常规的ｐ型掺杂剂，如Ｚｎ和Ｂｅ。根据近期研究成果，对采用ＭＯＶＰＥ技术生长的掺ＣＧａＡｓ和ＡｌＧａＡｓ性能研究中的若干方面给予了系统介绍和讨论。在此基础上对其应用作了总结，并对今后工作提出了几点建议。
C, as a p-type dopant commonly used in II-V semiconductors, has drawn increasing attention for its extreme high doping concentration and low diffusion coefficient, and has shown potential in many applications and is expected to replace the conventional p-type Dopants, such as Zn and Be. According to the recent research results, some aspects of the research on the performance of CGaAs and AlGaAs doped by MOVPE are systematically introduced and discussed. On this basis, the application is summarized, and some suggestions are put forward for future work.
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