大口径光学平面的子孔径拼接检验研究

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研究了检测大口径光学平面的子孔径拼接法。通过采用最小二乘法对相邻两个子孔径重叠区域的数据进行分析,获得了子孔径之间的拼接参量,得到了被检验镜面的整体面形信息。编制了拼接检验的计算程序,并完成了原理性实验。采用一台口径为100mm的移相干涉仪检测了两个样品,给出了拼接检测与全口径检测的对比结果。样品的口径分别为100mm和91mm。对比检测结果表明,拼接检测与直接检测两种方法的RMS之差小于5nm。 The subaperture splicing method for the detection of large aperture optical plane was studied. By using the least squares method to analyze the data of the overlapping area between two adjacent sub-apertures, the splicing parameters between the sub-apertures are obtained, and the overall shape information of the examined mirrors is obtained. Compiled the calculation of stitching test, and completed the principle experiment. Two samples were detected by a phase-shifting interferometer with a caliber of 100mm. The results of the comparison between splicing and full aperture were given. The caliber of the sample is 100mm and 91mm respectively. The contrast test results show that the difference between the two methods of splicing detection and direct detection is less than 5 nm.
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