【摘 要】
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阐述物理气相淀积PVD是异质结HJT太阳能电池片生产工艺中的关键设备,它由6个模块组成,包括真空模块、溅射模块、加热模块、传动模块、冷却模块和自动控制模块.为了实现控制设备,开发了一套PVD自动控制系统,由上位机和下位机组成.开发过程采用原型化方法,不断探索,设计出了最终的系统.探讨在建立系统后,进行演化升级的设计与研究过程.
【机 构】
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湖南红太阳光电科技有限公司,湖南 410205;湖南红太阳光电科技有限公司,湖南 410205;中南大学传感技术研究所,湖南 410083
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阐述物理气相淀积PVD是异质结HJT太阳能电池片生产工艺中的关键设备,它由6个模块组成,包括真空模块、溅射模块、加热模块、传动模块、冷却模块和自动控制模块.为了实现控制设备,开发了一套PVD自动控制系统,由上位机和下位机组成.开发过程采用原型化方法,不断探索,设计出了最终的系统.探讨在建立系统后,进行演化升级的设计与研究过程.
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