小面积铌隧道结的制备及其性能

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在超导隧道效应研究中,铌隧道结的研究一直受到人们的重视,我们利用射频溅射法制备铌膜,然后把此铌膜光刻制成铌下电极,并在溅射设备中用离子溅射清洁Nb电极表面,并立刻向溅射室充入高纯氧气:生成NbO位垒层,最后蒸度Pb上电极等一整套工艺制出的Nb NbO-Pb隧道结,其低温测量得到的Ⅰ-Ⅴ曲线与理论结果十分相似。经数月时间多次重复低温试验,征明隧道结的重复可靠性也是令人满意的。 In the study of superconducting tunneling effect, the research of niobium tunnel junction has been paid more and more attention. We use the RF sputtering method to prepare the niobium film, then lithograph the niobium film into the niobium lower electrode, The surface of the Nb electrode is cleaned by sputtering, and immediately filled into the sputtering chamber with high-purity oxygen: a Nb Nb-Pb tunnel junction formed by a set of processes such as forming a NbO barrier layer, a last-stepping Pb upper electrode and the like, The Ⅰ-Ⅴ curve is very similar to the theoretical result. Repeated low-temperature tests over several months indicate that the repeat reliability of tunnel junctions is also satisfactory.
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