反向法误差分离技术的测量精确度

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本文对反向法的测量精确度进行了详细的理论分析和实验验证,从而得出:精密工件圆度误差和主轴系统误差主要由偶次谐波构成,而反向法误差分离技术并不能完整地把这种误差分离出来。因此,反向法与多步法相比,测量精确度略低。 In this paper, a detailed theoretical analysis and experimental verification of the measurement accuracy of the inverse method, concluded that: the roundness error of the precision workpiece and the spindle system error mainly by even harmonics, and the reverse method error separation technology can not be complete To separate this error. Therefore, compared with the multi-step reverse method, the measurement accuracy is slightly lower.
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