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对现有场发射压力传感器的各种结构形式和研究现状进行了综合比较；从压力测量范围、阴极发射电流强度及阴阳极对准键合等方面分析传感器的改进途径；讨论了在阴极发射体阵列上沉积纳米硅薄膜，提高器件灵敏度的设想。
场发射压力传感器的研究进展
【摘 要】
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对现有场发射压力传感器的各种结构形式和研究现状进行了综合比较；从压力测量范围、阴极发射电流强度及阴阳极对准键合等方面分析传感器的改进途径；讨论了在阴极发射体阵列上沉
【机 构】
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北京理工大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2000年6期
【基金项目】
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国防预研基金!资助项目 (8.7.4.7)
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