【摘 要】
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为提高液晶空间光调制器（LC-SLM）在波前相位调制中的精度，提出一种能对LC-SLM实现快速标定的数字全息测量方法。该方法仅需在成像面上采集单幅数字全息图像，就能实时测量LC-SLM在特定波长下的相位调制特性，系统结构简单，且无需经过复杂的衍射传播计算，测量效率较高。在不改变光路结构的情况下利用泰曼-格林干涉法开展对比实验，进一步验证了数字全息法在测量精度方面的优势。实验结果表明，LC-SLM在
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为提高液晶空间光调制器（LC-SLM）在波前相位调制中的精度，提出一种能对LC-SLM实现快速标定的数字全息测量方法。该方法仅需在成像面上采集单幅数字全息图像，就能实时测量LC-SLM在特定波长下的相位调制特性，系统结构简单，且无需经过复杂的衍射传播计算，测量效率较高。在不改变光路结构的情况下利用泰曼-格林干涉法开展对比实验，进一步验证了数字全息法在测量精度方面的优势。实验结果表明，LC-SLM在标准光波波长（633nm）下的相位调制范围为0～6.185rad，利用反插值法校正相位响应的非线性特性，使得非线性误差降低到2.45%，有效提升了器件的线性驱动精度。最后，针对LC-SLM的波长响应特性，建立了相位-波长调制修正系数模型，对LC-SLM在非标准光波波长（670nm）下的实际相位调制范围进行了修正，探究了该器件在双波长干涉测量系统中用于相位校正的可行性。
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