子孔径拼接干涉检测及其精度分析

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介绍了利用小口径干涉仪检测大口径光学元件的方法 ,从统计的角度出发 ,详细地推导了子孔径拼接干涉检测技术中拼接参量的具体求解过程 ,以及使用统计回归方法分析了拼接检测系统精度。并通过实验对该理论进行了实际分析运算 The method of detecting large aperture optical components with small aperture interferometer is introduced. From the point of view of statistics, the concrete solving process of splicing parameters in subaperture splicing interference detection technology is deduced in detail, and the precision of splicing detection system is analyzed by using statistical regression method . Through experiments, the theory is analyzed and calculated
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