论文部分内容阅读
本文介绍一种由旋转驱动转台带动四个溅射蚀刻靶的系统。利用这种系统，可通过射频或直流溅射法在不同基片上沉积出连续的薄膜与厚膜。
一种用制作层膜的溅射蚀刻靶及其转台系统
【摘 要】
：
本文介绍一种由旋转驱动转台带动四个溅射蚀刻靶的系统。利用这种系统，可通过射频或直流溅射法在不同基片上沉积出连续的薄膜与厚膜。
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
1996年1期
其他文献
昏暗的街道、银亮的战甲、凌厉的“眼神”、霸气的AUTO9……多少年前，在底特律复杂的城市网中，有这样一位“警察”的威武形象深深地印刻在人们的脑海中。而在27年后，当又一位“
教学质量是教学过程的生命线。学生的学习就是在自身原有的知识结构体系上建构新的内容,这本身就是充满变数的复杂的过程。藏语文教学有其自身的特点.作为语言的学习也有其自
10000点的伤害 听过这样一段对话。 长得好看就能过得很好，对么？ 嗯，长得好看当然容易遭人喜欢，但是，我们常听到一句话，红颜薄命，其实好看的人，同样，甚至会经历更多的苦难，因为她们漂亮，所以容易被人惦记，被人欺骗，她们更加容易受到各种伤害，同样因为漂亮，她们会受到更多诱惑，她们会更恐惧衰老，害怕肥胖，活得紧张而焦虑…… 如果说这段话对好看的人有所警示的话，那对于丑的人来说，简直就是10
在氩、氮混合气氛中，对钛金属靶采用直流反应磁控溅射法，在玻璃基片上沉积了氮化钛膜。沉积过程中，总压强在０．２－３Ｐａ范围内变化。利用Ｘ射线衍射法，扫描电子显微镜，反射光谱和电阻率测量等方
2004年5月11日，华盛顿特区。SEMI今日在华盛顿国会山举行了SEMI成员高级人员午餐会，并向来自加州的众议员．David Dreier先生颁发了SEMI首个政府领导奖。
期刊
全球最大的多元市场高性能系统功率优化产品供应商之一飞兆半导体公司(苏州称“快捷半导体公司”)(Fairchild Semiconductor)在中国苏州的全新装配、测试和自动仓储设施的一
如果问生活的当下的一个人，你有没有欲望，那么问者可能会被误以为神经病。然而假若一个成功人士，一个在中国可以吃得开的人，提倡人应该活得充满欲望和激情，我们则会仔细体会，并且默
随着ＶＬＳＩ设计尺寸的细微化，关于布线层的形成，有许多难题迫切需要解决。本文就该公司在用于２５６ＭＤＲＡＭ的溅射设备ＰＲＩＭＵＳ－２５００上解决这些问题的情况加以叙述。