覆盖非等厚电极层的石英晶体板高频振动分析

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:abchkiesh
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利用Mindlin一阶板理论分析了覆盖非等厚电极层的AT切石英晶体板的高频振动,获得了包含厚度剪切振动模态、弯曲振动模态和面剪切振动模态的色散关系、频谱关系和振动模态位移图.计算结果表明由于非等厚电极层的质量效应,厚度剪切振动模态的一阶截止频率有所降低.随着石英晶体板长厚比的增加,各振动模态也在相互转化.为避免厚度剪切振动模态和其他模态的强耦合,可以选取石英晶体板的最佳长厚比作为实际谐振器的尺寸.振动模态位移图显示选取最佳长厚比尺寸时,厚度剪切振动模态是石英晶体谐振器高频振动的工作模态.
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