气体微流量测量及标准装置概论

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本文全面而概略地论述了气体微流量的测量及其标准的发展和现状。着重考虑了作为气体微流量标准装置核心的恒压式气体微流量计的原理、结构、下限因素和不确定度等基本问题。简略地介绍了我们在这方面的工作和特点。 This article comprehensively and roughly discusses the measurement of gas microfluidic and its standard development and status quo. The basic problems of the principle, structure, lower limit factor and uncertainty of the constant pressure gas micro-meter which are the core of the standard device of gas micro-flow are emphatically considered. Briefly introduced our work in this area and features.
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