基于新型针规节流器的超精密静压回转工作台运动误差研究

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超精密静压转台在精密机床加工领域占据重要位置,因此要求其具有较高的加工精度。静压回转工作台在实际工作过程中,因承受一定的偏心载荷使回转工作台发生偏斜,进而影响到回转工作台的回转精度,因此有必要研究回转工作台的动静运动特性,并分析静压回转工作台回转精度的影响因素。本文首先提出对小型超精密静压回转工作台的整体结构进行选型设计,并设计了一种可调式旋转加载装置,此试验台加载装置可以在减少结构拆卸的情况下实现对静压回转工作台任意偏心位置进行加载,提高了静压回转工作台加载情况下的稳定性以及回转精度的可靠性。为后续承受偏载力的研究提供了实验基础。其次,节流器作为静压转台的节流调压元件,其节流精度直接影响到转台的运动特性。本文通过采用蒙特卡洛法对节流器的形位公差进行了研究,结果显示节流器直径尺寸公差对节流间隙的影响最为显著,且减小直径公差尺寸有利于提高节流精度。因此选用结构简单的针规节流器对节流器直径公差对节流精度的影响进行实验,考虑节流器加工以及安装误差对转台油腔压力的影响,并对基于针规节流器的静压回转工作台进行定量化调试,使油腔压力保持稳定,进而提高了静压回转工作台的稳定性。本文通过分析静压回转工作台的回转轴线和回转工作台上、下工作面之间的垂直度误差对转台轴向回转精度产生的影响,建立了转台轴向回转误差模型,分析了转台轴向回转误差的形成机理,适当地增加油膜厚度和供油压力,有效减小静压回转工作台的回转误差。且上、下推力面与轴线的垂直度误差方向要相反,更有利于静压转台回转精度的提高。然而,当承受重载时,两个垂直度误差在相同方向上,可以降低外部载荷对轴向回转误差的影响。最后搭建实验平台,并对静压回转工作台轴向回转误差的影响因素进行实验验证,将测量数据进行误差分离,以此得出更接近实际值的实验结果,验证了工作台轴向误差随着转速及偏心载荷的增加而增大。
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