位置敏感传感器(Position Sensitive Detector，PSD)是一种基于横向光电效应的光电子器件。它具有分辨率高、响应速度快、信号处理简单等优点，适用于位置、距离、位移、角度以及其他相关物理量的测量。 本文首先介绍了国内外当前对PSD的研究发展和工程应用的现状，以及传统的PSD位置响应理论。 然后利用有限差分算法来求解PSD的RC网络传输线模型。利用该算法，得到了一维PSD在不同光信号激励下，从开始响应到进入稳态后的各个阶段的精确数值解。揭示了PSD电极对不同照射点的起始响应时间的差异正相关于光入射点与PSD几何中心之间的距离。模拟计算结果证明了PSD稳态位置响应结果与入射光类型和时间无关。 PSD作为一种光电效应器件，受到量子效率的限制，属于波长敏感器件。因此，在实际应用中需要了解PSD的结构对其波长响应特性的影响。本文深入研究了PN结结构PSD中各个层的厚度以及表面反射率的对波长响应特性的影响，为设计和优化PSD的波长响应以适用于特殊要求的应用场合提供了指导。 线性度是评价PSD的一个重要指标。本文采用电路模拟软件对PSD的线性度进行了深入研究，涉及到PSD边界电阻、负载和表面分流电阻均匀性。 设计并研制了4×4 PSD阵列，并对该器件的暗电流、反向击穿电压、响应时间、光谱响应和响应灵敏度进行了测试。结果显示该器件有着很好的位置响应线性度，响应时间在8ns左右，击穿电压和暗电流也得到了很好的控制。该器件特别适合在高速响应的多目标探测系统中使用。 为了提高产品测试的速率，解放人力资源并提高测试的可重复性，本文最后研制了一套PSD自动测试系统。利用PC和数据采集卡以及步进电机，实现了PSD的自动测试。