【摘 要】
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氧化锌（ZnO）作为直接带隙宽禁带半导体材料,兼具良好的光电特性、择优取向性、光敏特性,其优异的透明导电性、压电性、光电性、敏感特性,适用于特定气体检测、晶体管发光、摄像技术等领域,且易实现集成化。氧化锌薄膜的制备方法主要有溶胶凝胶法、物理气相沉积（磁控溅射）、化学气相沉积、喷雾热分解等,各有利弊。本文以氧化锌薄膜为研究对象,为制备出均匀、透明的多孔氧化锌薄膜进行了一系列溶胶凝胶实验,其中包括:在
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氧化锌（ZnO）作为直接带隙宽禁带半导体材料,兼具良好的光电特性、择优取向性、光敏特性,其优异的透明导电性、压电性、光电性、敏感特性,适用于特定气体检测、晶体管发光、摄像技术等领域,且易实现集成化。氧化锌薄膜的制备方法主要有溶胶凝胶法、物理气相沉积（磁控溅射）、化学气相沉积、喷雾热分解等,各有利弊。本文以氧化锌薄膜为研究对象,为制备出均匀、透明的多孔氧化锌薄膜进行了一系列溶胶凝胶实验,其中包括:在反应溶液中加入增粘剂,试验多种配方;采用新颖涂覆方法;以及采用不同热处理工艺退火等方法。深入研究氧化锌薄膜的表面形貌、探索生长机理、研究模板剂对多孔膜的作用机理,利用扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）、X射线衍射仪（XRD）、激光共聚焦显微镜（LSM）、椭偏仪等方法分析多孔膜微观结构、形貌、裂纹、晶粒生长等,并提出一种通过监测粘度、改变添加剂的浓度来改善直接生长在玻璃基体上薄膜的结构和性能的方法。为了研究透明多孔氧化锌薄膜的光学性能,对试样进行椭偏仪、分光光度计以及超薄层膜系增透性模拟分析。结果表明,添加适量模板剂,溶胶粘度稳定控制,获得薄膜膜厚控制在150-190nm,发挥强增透性;随模板剂浓度增加,孔隙率有所下降,多孔薄膜的折射率处于1.5～1.7范围,透射率可提高到95%以上,其他光学性能进一步提高。
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