【摘 要】
：
微通道板（Microchannel plates,MCP）是一种具有高长径比结构的二维真空电子倍增器件,在微光像管、光电倍增管、摄像管、紫外辐射和X-射线探测器等领域有着广泛应用。传统MCP受制备工艺的影响,发射层二次电子发射系数低,导电层电阻率可调整范围小,容易出现增益提前饱和,限制了MCP的增益性能,且氢还原处理工艺带来的正离子反馈效应会严重缩短MCP的使用寿命。ALD技术具有自限性、厚度可精
论文部分内容阅读
微通道板（Microchannel plates,MCP）是一种具有高长径比结构的二维真空电子倍增器件,在微光像管、光电倍增管、摄像管、紫外辐射和X-射线探测器等领域有着广泛应用。传统MCP受制备工艺的影响,发射层二次电子发射系数低,导电层电阻率可调整范围小,容易出现增益提前饱和,限制了MCP的增益性能,且氢还原处理工艺带来的正离子反馈效应会严重缩短MCP的使用寿命。ALD技术具有自限性、厚度可精确控制和沉积温度低等优势,特别适合在高长径比的微通道内制作薄膜。通过ALD制得的薄膜平滑致密,表面粗糙度小,热、化学稳定性好,对改善通道内壁粗糙度、降低暗计数、提高增益和延长寿命有显著的效果。因此,采用ALD法制备薄膜对高性能MCP的研究有很重要的价值。本文研究了MCP表面羟基化的原理及方法,通过实验测试了各方法下MCP表面接触角大小,分析了各羟基化方法对MCP基体及Ni Cr电极的腐蚀情况,探究了食人鱼溶液温度及浸泡时间对MCP表面亲水性的影响。羟基化实验中发现,随着浸泡温度的增加,MCP表面水接触角先减小后增大,浸泡时间对MCP表面亲水性影响不大。通过ALD实验进行验证,发现经羟基化处理过的MCP上制得的薄膜均匀致密。通过理论计算了ALD制备单种薄膜达到饱和时所需的前驱体脉冲时间。采用ALD技术在MCP上制备了Al2O3薄膜、Zn O薄膜、Zn O/Al2O3（AZO）薄膜。研究了前驱体脉冲时间、子循环数对薄膜厚度、组分均匀性的影响。理论计算表明,当三甲基铝（TMA）、二乙基锌（DEZ）脉冲时间分别为132 ms、324 ms时,可制得均匀的Al2O3薄膜、Zn O薄膜。采用SEM和EDS对薄膜厚度、形貌进行了测试。测试结果表明,当TMA通气时间为20 ms时即可得到均匀的Al2O3薄膜,当DEZ通气时间≥320ms,可以得到均匀的Zn O薄膜。在DEZ通气时间为400 ms,TMA通气时间为480 ms时,可以在微通道内制备出厚度组分均匀的AZO复合薄膜。在不同子循环数下制得的薄膜,实际测得的厚度均比设计的100 nm小,证明AZO薄膜生长过程中存在腐蚀效应。Zn O的成核最少需要4个周期。子循环数越高,Al2O3和Zn O的接触层越少,腐蚀反应造成的影响越小,薄膜越厚。采用Solid Works软件建模,再经ANSYS软件对ALD沉积系统的温度分布情况进行了模拟,并通过实验对模拟结果进行了验证,研究了ALD系统沉积温度及分布情况对薄膜形貌、厚度、组分均匀性的影响。模拟结果及实验验证表明,当脉冲时间足够长时,200℃的沉积温度下制得的薄膜形貌、厚度、组分都均匀一致。
其他文献
以白姜花（Hedychium coronarium）二倍体和四倍体切花为试验材料，观察其发育衰老过程中的变化特征。结果表明：以小花花冠管发生弯颈和花瓣开始萎蔫为标志，小花发育进程可划分为6个阶段：苞裂期、初开期、盛开期、弯颈期、初萎期和萎蔫期。小花花冠管弯颈发生早于花瓣衰老，花冠管细胞衰老早于花瓣细胞。四倍体小花花冠管直径极显著大于二倍体，花冠管伸出苞片的比例显著低于二倍体。在瓶插期间，四倍体切花
目的 总结国内循证中医药研究领域的发展动态、热点变迁及前沿趋势。方法 以中国知网收录的数据库建库至2021年4月循证中医药领域相关文献为研究对象，采用CiteSpace5.7.R2对纳入文献的作者、机构、关键词信息进行分析。结果 共纳入文献2152篇，总结循证中医药领域研究可分为3个阶段：引入和传播阶段、快速发展阶段、深入研究阶段。主要发文研究机构有北京中医药大学、广州中医药大学、天津中医药大学等
习近平总书记在推进南水北调后续工程高质量发展座谈会上的重要讲话,为今后水库移民工作尤其是南水北调后续工程移民安置工作指明了方向。本文分析了南水北调已建工程建设征地移民工作的特点,指出了新时期南水北调后续工程征地移民工作面临的形势与挑战,梳理了南水北调后续工程移民工作高质量开展的保障措施,提出完善政策法规、完善工作机制、强化规划引领、完善失地保障、维护社会稳定、做好用地统筹、降低工程造价等方面的建议
＜正＞高中研究性学习是以课题的形式培养学生责任担当、问题解决等综合素质的跨学科实践性课程，是国家高中新课程方案中的必修课程。传统的研究性学习教学中教师的“满堂灌”及学生的“被动学习”，造成了“三不高”现象：学生课堂学习兴趣不高、学生课题开展参与度不高、学生结题报告质量不高。基于此，本文结合智慧教育平台，探索在高中研究性学习中如何应用智慧教学模式。所谓智慧教学模式，
＜正＞美国数学家哈尔莫斯指出：“问题是数学的心脏。”问题是激发学生兴趣，促进学生知识理解、思维提升的源泉，在数学教学中具有重要地位。教师要善于优化问题的设计，激发学生学习的内驱力，促进学生认知结构的形成和思维品质的提升。近期笔者听了特级教师李培芳老师执教的《集合》一课，令人印象深刻。李老师通过巧妙的问题设计，
＜正＞“集合”是人教版《数学》三年级上册的内容，本课的教学目标是让学生感悟集合中蕴含的数学思想方法（以下简称“集合思想”），而集合思想的形成需要让学生在探究中经历解构、重组和建构的过程。因此，笔者认为此内容的教学是践行深度学习非常好的素材。教学中，教师大多是先创设情境，即提供有重叠部分的两组参赛名单以引发学生的认知冲突；再让学生重新整理两份名单，让人一眼就能看出参赛情况；接着全班展示、交流，
随着我国水电工程逐渐向高山峡谷地区发展，高坝大库成为首选，但其泄水建筑物的水头越来越高，导致防空蚀破坏的技术难度凸显。依托白鹤滩泄洪洞工程龙落尾段的底板混凝土施工技术创新，研制了“长距离下行输料系统”和“循环翻模系统”,创新“四位一体标准化工艺”,取得了“体型精准、平整光滑、无裂无缺、镜面效果”的建设目标，实现了全面精品工程。文章对施工技术创新研究的相关内容进行了阐述。
＜正＞党的十九届四中全会胜利闭幕后,证监会党委立即向全系统印发通知,就传达学习全会精神作出部署、提出要求。11月4日,证监会又分别召开党委会和党委扩大会,传达学习全会精神并对全系统学习宣传贯彻工作作进一步安排,党委书记、主席易会满