论文部分内容阅读
微机械加工、微电子以及无线传感等技术的迅速发展,使得射频识别系统、嵌入式系统、无线传感器以及它们形成的无线传感网络广泛地应用于日常生活中。这类微器件的功耗越来越低,能够低至微瓦量级,这就要求相应的供电部件具有体积小、集成度高、寿命长甚至是无人看管、无需更换等特点。传统的化学电池供电方式由于存在体积和质量较大、供能时间有限等缺点,已经无法满足这些微器件的供能要求。基于MEMS技术制备的压电振动发电机构能够与各种微器件集成加工在一起,实现微器件的集成化和自供能,将自然界广泛存在的各种振动能量转换为电能,