基于PSD的显微镜定位技术研究

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随着对PSD器件的深入研究以及PSD信号处理器的发展,PSD已经广泛应用于各个领域。目前,在测量领域的应用中,PSD已被应用于微小距离的测量。但由于PSD制作工艺上仍存在一些不足,所以目前制造的PSD器件所存在的缺点是其输出信号的线性度并不是很好,对微小距离的测量精度影响较大,但是可以通过PSD的信号处理器对其输出信号进行一定的非线性补偿,减小非线性误差。因此,通过对其输出信号的处理实现测量精确度的提高的研究,对PSD在微小距离测量上的应用有着重要的意义。显微镜是观察样本实验中常用的实验
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