子孔径拼接检测非球面的算法研究

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对于大口径非球面的高精度检测,现有的大口径干涉仪价格昂贵,而且横向分辨率往往不够,而高精度干涉仪的口径往往较小,无法满足大口径非球面检测的需求。因此,补偿法、计算全息法、子孔径拼接检测法等高精度非球面检测方法应运而生。相对于补偿法和计算全息法都需要根据被测元件制造辅助元件,子孔径拼接检测法具有成本低、精度高、不需要辅助元件的优点。另外,拼接算法是子孔径拼接检测法的核心,因此对它的研究显得尤为重要。本文就子孔径拼接检测非球面的算法,进行了如下的研究工作:首先,对比了主流的几种非球面高精度检测方
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