【摘 要】
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根据航天设备对表面膜层的特殊要求，特对表面工程技术和设备进行了长期的、专门的研究，现已完成。文中提出了集金属离子注入、磁控溅射、电弧离子镀和真空系统等多功能为一体化的新型设备研究方案，解决了多功能一体化的设备关键技术，实现了多种功能集成为一体的新型设备。提出了多种工艺技术有机结合、综合使用的新型综合工艺研究方案，解决了综合工艺的关键技术，完成了综合使用的新型工艺，达到了表面改性和成膜的特殊要求。该
【出 处】
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中国真空学会真空获得与测量学术交流会
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根据航天设备对表面膜层的特殊要求，特对表面工程技术和设备进行了长期的、专门的研究，现已完成。文中提出了集金属离子注入、磁控溅射、电弧离子镀和真空系统等多功能为一体化的新型设备研究方案，解决了多功能一体化的设备关键技术，实现了多种功能集成为一体的新型设备。提出了多种工艺技术有机结合、综合使用的新型综合工艺研究方案，解决了综合工艺的关键技术，完成了综合使用的新型工艺，达到了表面改性和成膜的特殊要求。该文重点介绍设备的研制。
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