子孔径拼接干涉检测技术研究

来源 :中国光学学会2004年学术大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunjian
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本文为了满足我国ICF系统大口径光学元件的检测需要,提出了子孔径拼接干涉检测的方法。介绍了子孔径拼接的基本原理,利用最小二乘法分析了拼接参数的求解方法,另外还使用了统计及线性回归理论分析了子孔径拼接系统的精度,从理论上证明了子孔径拼接技术在实际检测中的可行性。在理论分析的基础上,根据具体要求和实际条件,进行了实验装置的方案设计,并利用自行设计加工的实验装置进行了具体的子孔径拼接检测实验,得到了较好的实验结果。
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