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介质表面的随机起伏引起光束能量沿反射和折射以外的方向传播，这种光束表面散射引起的杂散光会影响图像的信噪比和对比度，使光电系统的成像质量下降，甚至失效，因此对光学成像系统散射机理的研究至关重要。我们从散射理论和软件分析两方面对比综述了Rayleigh-Rice矢量微扰散射理论、Beckmann-Kirchhoff标量散射理论和Harvey-Shack散射理论3种重要的光学表面散射理论，以及蒙特卡罗法、光线追迹法、能流密度法和区域法4种典型的杂散光分析方法及应用现状，并对未来散射机理的研究方向进行了展望，以期对光学系统杂散光分析领域的研究者提供有益的帮助。