红外均匀性测量仪的研制

来源 :2002年全国光电技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tbtbtb5518232
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本文简要阐述红外均匀性测量仪的主要技术指标要求、工作原理和设计.设计中采用模块化组成方式,由两维精密位移及其测量装置、控制系统、前测光系统、光电测量系统、软件及微机组成.
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