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微机械加工技术是提高射频通信关端器件性能、缩小其体积的有效方法。文中介绍了应用MEMS(微电子机械系统)技术的体声波射频滤波器的原理、结构，分析了PZT的材料特性，优化了硅基薄膜的制备、退火、刻蚀等集成工艺，并在此基础上设计了以该材料为核心的射频滤波器，模拟了该器件的性能。
采用PZT薄膜的射频滤波器研究
【摘 要】
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微机械加工技术是提高射频通信关端器件性能、缩小其体积的有效方法。文中介绍了应用MEMS(微电子机械系统)技术的体声波射频滤波器的原理、结构，分析了PZT的材料特性，优化了硅基薄膜的制备、退火、刻蚀等集成工艺，并在此基础上设计了以该材料为核心的射频滤波器，模拟了该器件的性能。
【机 构】
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清华大学微电子研究所
【出 处】
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第一届全国纳米技术与应用学术会议
【发表日期】
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2000年12期
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