【摘 要】
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针对我所研制的MEMS开关的开关特性进行测试和研究,采用不同频率,不同占空比的方波驱动信号,对该MEMS开关的频率特性进行研究,采用不同的负载测试MEMS开关的电流能力.上述测试表明:该MEMS开关的驱动电压小于50V,最高工作频率10kHz,上升时间20μs,下降时间10μs,最大开关电流大于12mA.开关寿命大于1亿次.
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针对我所研制的MEMS开关的开关特性进行测试和研究,采用不同频率,不同占空比的方波驱动信号,对该MEMS开关的频率特性进行研究,采用不同的负载测试MEMS开关的电流能力.上述测试表明:该MEMS开关的驱动电压小于50V,最高工作频率10kHz,上升时间20μs,下降时间10μs,最大开关电流大于12mA.开关寿命大于1亿次.
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