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本文对用于微电子制程中化学过滤器进行了探讨。文章围绕AMC的分类和常见危害、对付AMC方案和对策、选用化学过滤器要关注的因素和指标、化学过滤器市场上的一些陷阱等进行了论述。
浅谈用于微电子制程中化学过滤器
【摘 要】
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本文对用于微电子制程中化学过滤器进行了探讨。文章围绕AMC的分类和常见危害、对付AMC方案和对策、选用化学过滤器要关注的因素和指标、化学过滤器市场上的一些陷阱等进行了
【机 构】
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康斐尔过滤设备(昆山)有限公司;康斐尔贸易(上海)有限公司
【出 处】
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第八届中国国际洁净技术论坛
【发表日期】
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2005年10期
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